電子行業-波束致、氣相沉積發熱體、電子槍、陰極等導鉬元器件；

 

     半導體離子注入技術是一種材料表面改性高新技術，在半導體材料摻雜，金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應用，在當代制造大規模集成電路中是一種必不可少的手段。

 

      離子注入的優點是能精確控制雜質的總劑量、深度分布和面均勻性，而且是低溫工藝（可防止原來雜質的再擴散等），同時可實現自對準技術（以減小電容效應）。